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TMC 隔振平臺系統 STACIS III

單價(jià): 面議
發(fā)貨期限: 自買(mǎi)家付款之日起 天內發(fā)貨
所在地: 直轄市 上海
有效期至: 長(cháng)期有效
發(fā)布時(shí)間: 2024-03-06 16:44
最后更新: 2024-03-06 16:44
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STACIS? III是一種靈活的主動(dòng)隔振系統。STACIS采用的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電致動(dòng)器,通過(guò)連續測量地面活動(dòng),擴展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運動(dòng),以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

STACIS最初設計用于隔離先進(jìn)半導體工廠(chǎng)中的精密微光刻、計量和檢測設備,現已成為嘈雜環(huán)境(包括但不限于半導體工廠(chǎng)、失效分析實(shí)驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設施和材料研究中心)中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案。

STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數字控制器DC-2020。這款全新的控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口,為用戶(hù)提供了現代化且易于使用的圖形用戶(hù)界面(GUI)。STACIS在全球已擁有數百個(gè)成功的安裝案例,適用于對振動(dòng)敏感的儀器。 



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